참고: 차재 Technology 연간구독(2022.10~2023.09), 55,000엔->구독하기

<특집 1> 첨단 반도체의 제조 프로세스의 최신 동향-미세화, 3차원화를 향해-

• 리소그래피 기술의 최신 동향과 레지스트, 미세 가공용 재료에 대한 기술 요구
  오사카 대학 엔도 마사 타카
• EUV 리소그래피용 포토레지스트의 요구 특성과 향후 과제
  후지 필름 (주) 후지모리 료
• 에칭 기술의 최신 동향과 개발 사례 ~ 원자층 에칭을 중심으로 ~
  (주)히타치 제작소 시노다 카즈노리
• 반도체 디바이스의 오염 메카니즘과 세정 기술, 오염 제어
  오피스 시라미즈 시라이즈 호미

＜특집2＞EV, V용 모터, 자기 부품의 개발 동향과 재료 기술

• BEV·HEV용 모터의 최근 동향과 향후 방향성
  모리모 트라보 모리모토 마사유키
• EV, HEV 모터에 사용되는 무방향성 전자 강판과 그 이용 기술
  일본제철(주)우에가와하타 마사히토
• EV 모터의 고효율화를 위한 전자 강판의 고정밀 자기 특성 측정
  (주)브라이텍 우에하라 시게루
• 비정질 및 나노결정 연자성 합금의 특성 및 그 응용 사례
  (주)프로테리얼 사타케 유타카
• Sm-Fe-N 자석의 제조법, 자기 특성과 모터에의 응용 가능성
  지바공업대학 사이토 테츠지
• 자기 결합 인덕터 및 회로 평형화를 이용한 파워 일렉트로닉스 회로의 고전력 밀도 · 저잡음화 실현
  나고야 대학 이마오카 준

<차재 테크놀로지 최전선>

• FCEV 폐차에 따른 적정 처리 기술
  도요타 메탈 (주) 히코자카 에이지 사와다 요시히로

Title: 차재 Technology: 첨단 반도체의 제조 프로세스의 최신 동향 & EV, HEV용 모터, 자기 부품의 개발 동향과 재료 기술_23년 5월호