¡à EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ¿ë Æ÷Åä ·¹Áö½ºÆ® °³¹ß »ç·Ê
ÈÄÁö
Çʸ§ (ÁÖ) ÈÄÁö¸ð¸® ·á
1. ¼Ò°³
2. EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇÀÇ °úÁ¦
3. ½ºÅäÄ«½ºÆ½ ºÐ¼®(Æ÷Åæ½ºÅäÄ«½ºÆ½°ú ÄɹÌÄà ½ºÅäÄ«½ºÆ½
) Æ÷Åä ·¹Áö½ºÆ® Àç·á¿¡ ÀÇÇÑ Æ÷Åæ ij½ºÆ½ °³¼± »ç·Ê
5. Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® Àç·á¿¡ ÀÇÇÑ ÄɹÌÄà ½ºÅäÄ«½ºÆ½ °³¼±
»ç·Ê - Àç·áÀÇ ¸·Áß ºÐÆ÷ °³¼± -
6. Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® Àç·á¿¡ ÀÇÇÑ ÄɹÌÄà ½ºÅäÄ«½ºÆ½ °³¼±
»ç·Ê¡¡-Çö»ó ±ÕÀÏÈ °³¼±-
¡à EUV ¸ÞÅ»
·¹Áö½ºÆ®ÀÇ Á¦ÀÛ, ¹°¼º Æò°¡¿Í ¹ÝÀÀ ±â±¸
(±¹¿¬)
¹°Áú¡¤Àç·á ¿¬±¸ ±â±¸ ¾ß¸¶½ÃŸ ¿ä½ÃÀ¯Å°
1. ¼Ò°³
2. ½ÇÇè
3. °á°ú¡¤°íÂû
¡à µ§µå¸®¸Ó
°ñ°ÝÀ» ÀÌ¿ëÇÑ Æ÷Åä Æú¸®¸Ó Àç·áÀÇ ÇÕ¼º°ú Ư¼º Æò°¡
µµÄì
À̰ú ´ëÇÐ ¾Æ¿ÀŰ ÄËÀÌÄ¡, ¼¼Å° ÁØÁö
1. ¼Ò°³
2. µ§µå¸®¸Ó Çü Æ÷Åä Æú¸®¸ÓÀÇ ´ë·® ÇÕ¼º
3. µ§µå¸®¸Ó Çü Æ÷Åä Æú¸®¸ÓÀÇ Æ¯¼º Æò°¡
¡à EUV ·¹Áö½ºÆ®ÀÇ
Æò°¡ ±â¼ú
¸®¼ÒÅØ
ÀçÆÒ (ÁÖ) ¼¼Å°±¸Ä¡ ÁØ
1. ¼Ò°³
2. EUV ·¹Áö½ºÆ®ÀÇ Åõ°úÀ² ÃøÁ¤¹ý
3. ½ÇÇè ÀåÄ¡
4. ½ÇÇè °á°ú
5. HfO2 ÷°¡ÀÇ È¿°ú È®ÀÎ |