강사
요코하마 국립 대학 대학원 공학 연구원 시스템의 창생 부문 교수 박사(공학) 하세가와 마코토씨

강연 내용
1. 에어로졸 데포지션(AD)법에 의한 성막의 특징
　1.1 배경
　1.2 AD장치의 구성
　1.3 성막 조건이 막의 형성에 미치는 영향
　　1.3.1 알루미나 입자에서의 성막
　　1.3.2 지르코니아(YSZ) 입자에서의 성막
　　1.3.3 무라이트 입자로 성막
　　1.3.4 금속입자에서의 성막

2. 에어로졸 데포지션(AD)법에 의한 성막의 원리
　2.1 최근 제창되고 있는 성막원리
　2.2 시뮬레이션에 의한 성막의 이해
　2.3 성막입자의 속도측정기법
　2.4 입자 속도 및 입자의 에너지에 기반한 성막 해석
　2.5 AD법에 의한 결정 배향막 형성

3. 성막체의 특성과 용도전개
　3.1 입자 배향 티탄산 비스무트 AD 막의 물성
　3.2 AD법에 의한 저발진성 부재
　3.3 플라스틱에 대한 AD법의 적용
　3.4 AD 알루미나 경질막의 롤러 적용
　3.5 AD막의 환경차폐막으로서의 가능성

□질의응답□

개최일시 : 2025년 4월 23일 10:30-16:30
개최장소 : Zoom를 이용한 Live 세미나와 아카이브
수강료(세금포함): 55,000엔
배부자료: PDF