강사
도호쿠대학 공학연구과·시니어 리서치 펠로우 공학박사 카도타 미치오 씨

강연 내용
1. 탄성체에서의 음파

2. 압전체와 결정구조

3. BAW(FBAR) 및 SAW용 재료
　3.1 BAW(FBAR)용재료
　　 ·다결정 박막　
　　 ·단결정 박판
　3.2 탄성표면파(SAW)용재료
　　 ·압전 세라믹 주로 Pb(Ti, Zr) O3
　　 ·압전 박막
　　 ·압전 단결정

4. 벌크파의 진동모드 : BAW (bulk acoustic wave)
　4.1 벌크파의 진동모드
　4.2 박판의 두께 세로 진동
　4.3 박판의 두께 미끄럼 진동
　4.4 고차 모드
　4.5 에너지 가둠형 공진자

5. 공진자 및 거르개
　5.1 공진자
　5.2 네트워크 분석기에 의한 공진자 특성 측정　
　5.3 Smith 차트 S11과 임피던스 특성
　5.4 필터란
　5.5 다중 모드 필터 (모놀리식 필터)
　5.6 러더 거름망
　5.7 래더필터를 듀프레사에 응용

6. 박막 벌크파(BAW) 장치
　6.1 캐비티형 과 SMBAWR형
　6.2 다결정막을 이용한 캐비티형 BAWR(FBAR)
　6.3 다결정막을 사용한 SMBAWR
　6.4 단결정을 이용한 캐비티형 BAWR
　6.5 단결정을 이용한 SM형 BAWR

7. 탄성 표면파 장치
　7.1 SAW란
　7.2 SAW의 여진
　7.3 발 모양 전극 (IDT)
　7.4 SAW의 정수
　7.5 트랜스버스 SAW 필터
　7.6 SAW 공진자
　7.7 다중 모드 SAW 공진자 필터
　7.8 SAW 사다리 필터

8. SAW 종류
　8.1 압전 기판 단체를 전달하는 SAW
　　8.1.1 레일리파, LSAW, LLSAW (2nd LSAW)
　　8.1.2 BGS파
　8.2 LSAW에서의 누설성분 제거
　　8.2.1 러브(Love) 물결
　　8.2.2 이종 기판과의 조합
　8.3 LLSAW에서의 누설성분 제거
　8.4 층상구조
　　8.4.1 레일리 파동과 세자와 파동 및 그 고차 모드
　　8.4.2 경계파
　　8.4.3 Hetero Acoustic Layer SAW(이기판 층상구조)

9. 판파
　9.1 종류
　9.2 LiNbO3 박판의 판파
　　9.2.1 CDV에 의해 성막된 LiNbO3 박막
　　9.2.2 단결정 LiNbO3 박판
　9.3 단결정 LiTaO3 박판에서의 판파
　9.4 XBARとYBAR

10. SAW 디바이스 제작 프로세스

11. 최근 화제의 SAW 디바이스
　11.1 다Band화에 필요한 Duplexer
　11.2 이종 재료 기판을 조합한 SAW 디바이스
　11.3 광대역 탄성파 디바이스

12. 고주파 탄성파 디바이스를 위해
　12.1 판파
　12.2 XBAR?YBAR
　12.3 SAW
　12.4 BAW

□질의응답□

개최일시 : 2025년 4월 22일 10:30～16:30
개최장소 : Zoom를 이용한 Live 세미나와 아카이브
수강료(세금포함): 55,000엔