강사
나고야 시립 대학 대학원 간호학 연구과 간호 정보 센터 교수 박사(공학) 카가미 히로유키씨

강연 내용
1. 도포막의 건조공정 개요와 과제
　1.1 건조시키다는것은?
　　1.1.1 건조가 진행되는 원리
　　1.1.2 건조를 진행시키는 방법
　1.2 레지스트 도포 공정의 예
　　1.2.1 도포 방법
　　1.2.2 건조방법
　1.3 건조 후 요구되는 것

2. 액체의 이론
　2.1 액체의 일반이론
　　2.1.1 액체속의 분자에 작용하는 힘
　　2.1.2 액체를 고체로부터 흐트러진 상태로 파악
　　2.1.3 액체를 기체론적으로 생각하는
　2.2 액체론으로 본 증발의 이론
　2.3 액체의 응집력의 기원
　2.4 액체 이론의 모델에 대한 도입의 포인트

3. 용액의 이론
　3.1 용액의 일반론
　　3.1.1 용액이란
　　3.1.2 평형상태의 용액의 화학 퍼텐셜
　　3.1.3 비평형 상태 용액의 화학 퍼텐셜
　3.2 고분자 용액의 특징
　3.3 용액 이론의 모델에 대한 도입의 포인트

4. 표면계면의 이론
　4.1 표면장력
　4.2계면의 젖음
　4.3 계면의 흔들림
　4.4 표면장력파와 완화시간
　4.5 표면·계면 이론의 모델 도입 포인트

5. 용매의 증발속도 이론
　5.1 증발속도의 식

6. 용액 속의 용질·용매 동역학
　6.1 확산방정식
　6.2 유체방정식
　6.3 휘발중이라는 비평형 상태에서의 동역학
　　6.3.1 화학 퍼텐셜로부터의 확산계수 도출(평형계)
　　6.3.2 화학 퍼텐셜로부터의 확산계수 도출(비평형계)

7. 평탄한 기판위에 도포된 고분자 용액의 휘발과정
　7.1 레일리 수와 마랑고니 수
　7.2 가장 심플한 모델화
　7.3 심플한 모델의 개량
　7.4 정밀한 모델
　7.5 수치 시뮬레이션 결과의 예
　　7.5.1 막두께 분포의 시간발전
　　7.5.2 건조 후 막두께 분포의 건조속도 의존성
　　7.5.3 건조 후 막두께 분포 도포막두께 의존성
　　7.5.4 건조 후 막두께 분포 농도의 확산계수 의존성
　　7.5.5 건조 후 막두께 분포 용매 확산계수 의존성
　　7.5.6 건조 후 막두께 분포의 고유 점성률 의존성
　　7.5.7 건조 후 막두께 분포의 증발잠열 의존성
　　7.5.8 건조 후 막두께 분포에 대한 고분자 용액 특유의 증기압 변화 효과
　　7.5.9 액막의 표층과 내부 건조의 시간 발전 차이

8. 시뮬레이션 기술
　8.1 확산방정식의 해법
　8.2 유체방정식의 해법

9. 실험을 통한 모델 검증

10.모델의 발전
　10.13차원 모델
　10.2 용질의 종류가 여러 개인 경우
　10.3 용매의 종류가 여러개인 경우
　10.4 구체적인 현상에 대한 모델의 응용(다양한 얼룩 등)
　10.5 마랑고니 효과 고려

11. 막두께 제어의 실제 앞으로
　11.1 다양한 얼룩 등의 제어 예
　11.2 끝부분의 요철 제어의 예 1 : 온도 관리
　11.3 끝부분의 요철 제어의 예2: 기압관리
　11.4 단부 요철 제어의 예3: 농도관리

12. 다양한 형상으로의 응용
　12.1 기판의 측면에 대한 도포의 영향
　12.2 구상체 도포막의 경우

13. 도포막 설계의 유의점

[질의응답]

개최일시 : 2025년 4월 23일 10:30～16:30
개최장소 : Zoom를 이용한 Live 세미나
수강료(세금포함): 55,000엔