세미나문의: 02 703 5000    

 

 

반도체 제조의 세정 방법과 장치의 이해와 과제, 그리고 해결법

 

 

● 개최일: 2021-01-20  ● 장소: Live Web 세미나  ●개최사: RDS 社  ●참가비: ¥ 49,500 (자료만신청/참가신청)

   진행 내용

강사
국립대학 법인 요코하마 국립대학 대학원 공학 연구원 박사(공학) 교수 羽深 等 氏

습득할 수 있는 지식
 ·반도체 세정에 관련되는 이하의 지식과 수법을 얻을 수 있어 세정 시간과 효과의 향상에 살릴 수 있습니다.
 ·화학 공학의 기초(공업 생산 프로세스의 주요 요소를 이루는 흐름·열·확산등의 생각)
 ·흐름의 실감(간이 가시화 실험(실연))
 ·액체의 흐름을 간파해 사용하는 생각
 ·흐름의 개선에 의해 공정 단축, 품질 향상, 등을 진행시키는 방법
 ·프로세스의 한계를 판별하고 그것을 넘기 위한 생각

취지
반도체 세정에 관련되는 기초지식과 수법에 관하여 해설합니다.습식 세정은 더러움을(1) 약액이나 초음파등에 의해 표면으로부터 당겨 벗겨, (2)"흐름"에 의해 제거함으로써 행해집니다.즉, 세정의 주 요소의 하나는, "유체(액체)의 움직임"입니다.흐름은 난해하게 생각되기 쉽상이지만, 흐름을 정면에서 파악하고, 방법의 이해, 과제의 발견, 해명, 해결과 개선에 묶는 방법을 알면, 그 효과는 현저할 것입니다.거기서 본 세미나에서는 예비 지식으로서 흐름을 포함한 "이동하는 현상"의 기초 사항과 법칙으로부터 설명합니다.그리고, 흐름의 가시화 실험의 실연을 통하고, 흐름의 견해를 설명해, 용기 내의 흐름의 모습을 설명합니다.다음에, 매엽식 세척기와 배치식 세척기의 흐름, 초음파를 더한 시간의 흐름 에 관하여 가시화 관찰 예와 계산 예를 소개해, 흐름의 특징과 문제점을 고찰합니다.특히, 실제의 물의 움직여, 그 수류의 아래에서 진행하는 화학반응, 이상적인 물의 움직임이란 무엇인가, 그것을 간편하게 만들어 내는 방법, 그리고, 곤란했을 때의 생각에 관하여 상술합니다.

프로그램
1.씻는 이유:더러움은 뭐야? 언제, 어디에서 왜 와?
2.일반의 세정(세정의 4요소:온도, 시간, 화학, 역학)
3.반도체의 세정에 특유
4.첨단기술 정보(반도체 세정을 취급하고 있는 국제 학회·국내 학회)
5.반도체 세정의 기초 현상(화학 공학)
  5-1.표면(부착·이탈·당겨 벗긴다)
  5-2.흐르는 열, 확산, 반응, 경계층
   (1)반도체 세정의 요소를 이루는 기초 현상(흘러 열, 확산)
   (2)기초 현상의 법칙
  5-3. 장치 내 흐름의 종류
6."흐름"의 감각을 잡는다
  6-1.흐름의 가시화 실험(실연+영상)
  6-2.흐름의 종류(순환 흘러 한 방향 흘러)
7.매엽식 세척기의 흐름과 반응
  7-1.흐름의 가시화 관찰 방법과 예
  7-2.흐름의 계산
  7-3.표면 반응의 해석 예
8.배치식 세척기의 흐름
  8-1.흐름의 가시화 관찰 방법과 예
  8-2.노즐 설계의 시점
  8-3.배출 설계의 시점
  8-4.검증 방법
9.초음파 세정
  9-1.초음파의 효과와 역할
  9-2.초음파의 영향:수류
  9-3.초음파의 영향:기포
10.정리:과제 해결의 요점 

개최일시 : 2021년 01월 20일(수) 12:30~16:30
개최장소 : Zoom를 이용한 Live 세미나
수강료(세금포함) : 49,500엔

 

 

경박단소화에의 신기술 :신제...

68.42% 할인문의
info@oic.co.kr


[세미나]
 
   
 
 
[보고서 분야]
통신
전자
중공업
제약
화학
의학
환경
식품
방위산업
기타
 

 

Copyrightⓒ2012 Overseas Information Center All Rights Reserved.
                                E_mail : info@oic.co.kr